技术参数
主要特点
仪器介绍加工直径350mm,可扩充至450mm8.6nm超精玻璃光栅反馈精度0.05um高刚性空气主轴可实现非球面面型加工,并可加工多种复杂光学零件加工精度:面型误差优于0.15um,粗糙度优于5nm